Microscopio FIB-FEGSEM FEI Helios NanoLab 600i – Uso Externo

DESCRIPCIÓN DEL EQUIPO
Microscopio Electrónico de Barrido de Emisión de Campo con Haz de Iones Focalizado (FIB-FEGSEM) Helios NanoLab 600i, de FEI (actualmente Thermo Fisher Scientific).Es un sistema DualBeam SEM‑FIB de alto rendimiento diseñado para análisis, fabricación y preparación de muestras a escala nanométrica. El sistema integra:
  • SEM de emisión de campo Schottky FEG (field emission gun) de alta resolución (columna Elstar™).
  • FIB de Ga⁺ (Tomahawk™) para micromecanizado y modificación de muestras

Incluye múltiples detectores para diferentes señales:

  • SE (electrones secundarios) Everhart‑Thornley e in-lens TLD
  • CBS (detector electrones retrodispersados, sectores concéntricos).
  • Detector ICE (iones secundarios + electrones).
  • Detector STEM (BF/DF/HAADF).
  • EDS (Energy Dispersive Spectroscopy) – Oxford X-MaxN 20
  • EBSD (difracción de electrones retrodispersados). – Oxford Nordlys nano

Platina motorizada 5 ejes, con rotación continua 360º e inclinación [−10°, 60°] y repetitividad de ~1 µm
Manipulador nanométrico (~10 nm) para extracción de lamelas.

Características SEM:

Voltaje de aceleración

Resolución

Modo de operación

~0.35 – 30 kV

~0.9 nm @ 15 kV

~1.4 nm @ 1 kV

Standard (Field free)

Inmersión (ultra alta resolución) Deceleración de haz

Características Columna FIB (haz de iones) de Ga⁺ (metal líquido).

Voltaje de aceleración

Corriente de hazResolución
~0.5 – 30 kVhasta ~65 nA

~4 nm @ 30 kV

SERVICIOS:

Ofrece servicios de análisis de materiales (metales, polímeros, semiconductores, biomateriales, …).

  • Imagen de alta resolución.
  • Análisis EDS y EBSD
  • Corte y preparación de láminas para TEM.
  • Preparación de muestras APT.
  • Fresado preciso (nanomachining).
    • Preparación de Secciones Transversales (Cross sections)
    • Tallado de micropilares
    • Nanoprototipado y otros grabados.
  • Deposición de Pt inducida por haz (IBID/EBID).
  • Reconstrucción 3D:
    • slice-and-view.
    • 3D-EBSD

CONTACTO: 

Dr. Manuel Avella (manuel.avella@imdea.org)

TARIFAS: 

A continuación, se incluye la tarifa de servicios externos para el equipo Microscopio FIB-FEGSEM Helios NanoLab 600i. Las tarifas establecidas se corresponden con el precio por hora de uso del equipo.

A la tarifa indicada se añadirá el IVA vigente en cada momento.

 

EQUIPOORGANISMOS PÚBLICOS DE INVESTIGACIÓN (OPIS) EMPRESAS

Microscopio FIB-FEGSEM Helios NanoLab 600i

(Modo GA-Ion milling)

150,00 €225,00€

Microscopio FIB-FEGSEM Helios NanoLab 600i

(Modo SEM, EDX, EBSD)

100,00 €150,00€